바이엘 필터는 어떻게 제조됩니까?

베이어 필터에 대한 이전 질문에서 다음과 같이 궁금해졌습니다.

그들은 실제로 어떻게 제조됩니까? 소량의 염료를 각 서브 픽셀에 어떻게 적용합니까?

내 최선의 추측은 일종의 광학 기반 화학 에칭과 염료 욕조가있을 것입니다 ... (컬러 당)

sensor bayer manufacturing

— 디지털 라이트 크래프트
소스

en.wikipedia.org/wiki/Color_filter_array는 제조 준비 과정에 대한 섹션이

— dav1dsm1th

우 좋은 곳! @ dav1dsm1th-이상하게도 실제 바이엘 필터 위키는 프로세스에 대해 언급하지 않습니다, 나는 읽을 것입니다 ...

— Digital Lightcraft

이 문서의 개요에서 365 나노 미터 리소그래피에 화학적으로 열 경화하여 증폭 미리 염색 된 포지티브 형 포토 레지스트를 이용하여 CCD와 CMOS 이미지 센서를위한 컬러 필터 어레이

Diazonaphthoquinone-novolak 포토 레지스트는 각 색상 레이어를 연속적으로 증착하고 패턴 화하여 이러한 필터를 생성하는 데 사용됩니다.

이 인용문에 대한 나의 이해는 과정이 다음과 같다는 것입니다.

염료 (적색, 녹색 또는 청색)가 첨가 된 포토 레지스트 (가시 광선에서는 상대적으로 투명하지만 450nm에서 UV에서 강하게 흡수하는 중합체 및 증감 제)가 센서 표면에 증착됩니다.
포토 레지스트 위에 금속 패턴 마스크를 배치
포토 레지스트의 마스킹되지 않은 영역은 디아 조나 프토 퀴논이 변형되는 UV 광원에 의해 노출된다
마스크가 제거되었습니다
노출 된 포토 레지스트는 수성 용매로 용해되고, 노출되지 않은 영역은 쉽게 용해되지 않으므로 남아있다
다른 염료와 다른 마스크를 사용하여 1-5 반복

이 포토 레지스트의 작동 방식에 대한 설명은 en.wikipedia.org/wiki/Diazonaphthoquinone 을 참조하십시오 .

— 브라이언 쿠 베라
소스

나는 5와 6 사이 또는 6 이후에 베이킹 단계가 있어야한다고 생각합니다. 1과 2 사이에 베이킹 단계가있을 수도 있습니다.

— Brian Kubera

Nice link-그러나 기사는 현재 16 세이므로 ccd / cmos 칩 밀도가 크게 증가했기 때문에 현재 방법이 아닐 수도 있습니다. 예를 들어 금속 마스크를 물리적으로 충분히 만들 수 있습니까? 오늘의 칩?

— Digital Lightcraft

대폭 증가 했습니까? 픽셀 밀도는 10 배 정도 증가했다고 생각합니다. 따라서 선형 피처 크기는 3 배만 감소했을 것입니다. 그러나 마스크를 포토 레지스트 바로 위에 배치하는 것이 아마도 그것이 어떻게 이루어지지 않았는지. 마스크가 포토 레지스트 상에 이미지화되고 동시에 센서의 전자 장치를 패터닝하는데 필요한만큼 감소되는 것과 훨씬 유사하다. 이를 반영하여 답변을 편집하겠습니다.

— Brian Kubera

추가로 고려한 후, 처음 설명했듯이 콘택트 마스크가 컬러 필터를 패터닝하는 데 더 사용된다고 생각합니다. 금속 마스크의 해상도는 100nm보다 낫습니다. 픽셀 크기는 1um 정도입니다.

— Brian Kubera

내가 포함하지 않은 한 가지 문제는 마이크로 렌즈 배열의 형성인데, 존재하는 경우 컬러 필터의 일부를 분리하거나 통합 할 수 있습니다.

— Brian Kubera